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激光劃片機 我有新說法
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激光劃片是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。

1原理


因激光是經(jīng)專用光學(xué)系統(tǒng)聚焦后成為一個非常小的光點,能量密度高,因其加工是非接觸式的,對工件本身無機械沖壓力,工件不易變形。熱影響極小,劃精度高,廣泛應(yīng)用于太陽能電池板、薄金屬片的切割和劃片。

2應(yīng)用領(lǐng)域

激光劃片機主要用于金屬材料及硅、鍺、砷化鎵和其他半導(dǎo)體襯底材料劃片和切割,可加工太陽能電池板、硅片、陶瓷片、鋁箔片等,工件精細美觀,切邊光滑。采用連續(xù)泵浦聲光調(diào)Q的Nd:YAG激光器作為工作光源,由計算機控制二維工作臺,能按輸入的圖形做各種運動。輸出功率大,劃片精度高,速度快,可進行曲線及直線圖形切割。
激光劃片機一般分為這幾類:YAG激光劃片機、半導(dǎo)體激光劃片機、光纖激光劃片機……

3分類特點應(yīng)用

 

光纖激光

產(chǎn)品特點
·高配置:采用進口光纖激光器,光束質(zhì)量更好(標準基模)、切縫更細(30μm)、邊緣更平整光滑。
·免維護:整機采用國際標準模塊化設(shè)計,真正免維護、不間斷連續(xù)運行、無消耗性易損件更換。
·操作方便:設(shè)備集成風(fēng)冷設(shè)置,設(shè)備體積更小,操作更簡單。
·專用控制軟件:專為激光劃片機而設(shè)計的控制軟件,操作簡單,能實時顯示劃片路徑。
·工作效率高:T型臺雙工位交替運行,提高工作效率.大劃片速度可達200mm/s。
應(yīng)用及市場
太陽能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片和硅片的劃片(切割、切片)。

半導(dǎo)體激光

產(chǎn)品特點
高配置:采用進口新型半導(dǎo)體材料,大大提高電光轉(zhuǎn)換效率。
運行穩(wěn)定:全封閉光路設(shè)計,光釬傳輸,確保激光器長期連續(xù)穩(wěn)定運行,對環(huán)境適應(yīng)能力更強。整機采取國際標準模塊化設(shè)計,結(jié)構(gòu)合理,安裝維護更方便簡潔。
率:低電流、率。工作電流小,速度快(達220mm/s)基本做到免維護,無材料損耗,*率,運行成本更低。
應(yīng)用及市場
太陽能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片和硅片的劃片(切割、切片)。

YAG激光

產(chǎn)品特點
配置:核心部件(聚光腔)采用進口新型材料,大大提高電光轉(zhuǎn)換效率,·激光器采用新一代的金屬鍍金聚光腔,避免脫金,更耐用。
專業(yè)控制軟件:操控軟件根據(jù)行業(yè)特點專門設(shè)計,人機界面友好,操作方便,·劃片軌跡顯示,便于劃片路徑的設(shè)計、更改、監(jiān)測。
運行成本低:工作電流?。ㄐ∮?1A),速度快(達140mm/s)延長氪燈使用壽命,減少維護,減少材料損耗,降低故障率,降低運行成本。
人性化設(shè)計:*提示功能,確保易損件及時更換。
應(yīng)用及市場
太陽能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片和硅片的劃片(切割、切片)。
電子行業(yè)單晶硅和多晶硅硅片的分離切割。

4發(fā)展狀況


2000年武漢三工光電設(shè)備制造有限公司*激光劃片機問世,可以*替代進口
2007年華工激光自行研發(fā)成功具有自主知識產(chǎn)權(quán)的晶圓紫外激光劃片機。
2008年LED紫外激光劃片機由華工激光研發(fā)成功。

參考資料

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