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1介紹

光電輪廓儀是在干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上，應(yīng)用數(shù)字圖像處理技術(shù)，光、機(jī)、電算相結(jié)合的新型儀器。該儀器除在計(jì)量系統(tǒng)作為基礎(chǔ)儀器外，在材料科學(xué)、生物學(xué)、化學(xué)、微機(jī)械學(xué)以及半導(dǎo)體工業(yè)等領(lǐng)域中的納米分析測(cè)量也有廣泛的應(yīng)用前景。
光電輪廓儀由光學(xué)干涉顯微鏡、相移裝置、C-MOS接收器、控制箱和計(jì)算機(jī)等部分組成，其系統(tǒng)框圖如下。
工件放到干涉顯微鏡工作臺(tái)面上，調(diào)整好干涉條紋后，計(jì)算機(jī)操縱控制箱驅(qū)動(dòng)移相器，對(duì)干涉條紋進(jìn)行掃描，由C-MOS接收并傳給計(jì)算機(jī)，經(jīng)專用軟件計(jì)算、分析處理后，在計(jì)算機(jī)屏幕上顯示出工件表面三維立體圖、截面圖和測(cè)量的數(shù)值結(jié)果，也可以打印或保存在計(jì)算機(jī)內(nèi)。

2應(yīng)用范圍

光電輪廓儀的應(yīng)用范圍很廣，它主要用于測(cè)量各種精密加工零件表面的微觀三維結(jié)構(gòu)，如表面粗糙度；零件表面的刻線；刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說(shuō)，如量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度；標(biāo)尺、度盤的刻線深度；光柵的槽形結(jié)構(gòu)；鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌；磁（光）盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測(cè)量；硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量等等。由于儀器測(cè)量精度高，重復(fù)性好，具有非接觸和三維測(cè)量等特點(diǎn)，并采用計(jì)算機(jī)控制和快速分析、計(jì)算測(cè)量結(jié)果，本儀器適用于各級(jí)測(cè)試、計(jì)量研究單位，工礦企業(yè)計(jì)量室，精密加工車間和高等院校及科學(xué)研究單位等。