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   技術(shù)參數(shù)

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       Z軸（沿主軸）

•      行程：          350mm
•      直線度：              0.1μm/100mm
•      分辨率：              1nm
•      進給速度：    20mm/s

      X軸（垂直于主軸）

•      行程：           350mm
•      直線度：               0.1μm/100mm
•      分辨率：               1nm
•      進給速度：    20mm/s

      主軸（工件軸）

•      徑跳和端跳 ：      0.05μm
•      主軸轉(zhuǎn)速：           0-4000rpm

      C軸（選配）

•      C軸轉(zhuǎn)速：            0-1000rpm
•      轉(zhuǎn)角定位精度：   5″
•      轉(zhuǎn)角重復(fù)性定位精度：2″

      B軸（液體靜）（選配）

•      徑跳和端跳：<0.1μm
•      承載：200Kg
•      定位精度：±0.5″

      砂輪軸（氣體靜壓）（選配）

•      徑跳和端跳：<0.1μm
•      徑跳和端跳：<0.1μm

   機床配置

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•      采用超精密空氣靜壓主軸，無摩擦損耗，回轉(zhuǎn)精度高，可選配C軸功能
•      天然花崗巖基座，保證機床長久穩(wěn)定性
•      PMAC控制卡
•      主軸采用內(nèi)裝式電機+高精度編碼器
•      主軸軸端安裝有動平衡盤和真空吸盤
•      超精密液體靜壓導(dǎo)軌，具有較好的剛性和阻尼性
•      X/Z軸均采用直線電機驅(qū)動，全閉環(huán)控制