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詳細介紹
FD-9104PA硅片拋光機
主要用途：
廣泛用于多種尺寸的硅片的單面拋光及鏡面拋光。
設(shè)備參數(shù)：
拋光盤尺寸 | Φ910mm |
工作工位 | 4組 |
陶瓷吸盤直徑 | Φ400mm |
加壓方式 | 氣缸加壓 |
主電機功率 | 7.5KW/380V |
工件盤驅(qū)動功率 | 0.4KW/380V |
工作氣壓 | 0.4-0.6MPa |
工件盤轉(zhuǎn)速 | 5-40RPM |
拋光盤轉(zhuǎn)速 | 10-80RPM |
加工粗糙度 | Ra:0.0002 |
設(shè)備總重量 | 2300kg |
外型尺寸（L*W*H） | 1650*1200*2300mm |
該陶瓷拋光機拋光后的效果：
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