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新一代緊湊型風(fēng)冷準(zhǔn)分子雷射

詳情介紹

新一代緊湊型風(fēng)冷準(zhǔn)分子雷射，專(zhuān)為低佔(zhàn)空比應(yīng)用而設(shè)計(jì)
ATLEX-LR準(zhǔn)分子雷射特點(diǎn)

極快的脈衝上升時(shí)間和高峰值功率密度
雷射頭體積 <>
TMC（全金屬陶瓷）雷射管
集成真空泵和鹵素過(guò)濾器於一體
風(fēng)冷的主動(dòng)熱控制器
用於系統(tǒng)集成的 RS-485、RS232、USB 和光纖接口
可清洗的光學(xué)支架
能量穩(wěn)定的輸出模式
符合歐洲 CE 標(biāo)準(zhǔn)
RoHS 規(guī)範(fàn)

ATLEX-LR準(zhǔn)分子雷射主要參數(shù)

ATLEX-LR Specifications
Gas Medium	ArF	Units
Wavelength	193	nm
Max. Pulse Energy 1	12	mJ
Max. stab. Energy	10	mJ
Pulse Duration 2	5	ns
Beam Dimensions 2 (V x H)	4 x 6	mm
Beam Divergence 2 (V x H)	1 x 2	mrad
Energy Stability (standard deviation)	<>	%
Dimensions (LxWxH) click here for details	540 x 470 x 370	mm
Weight	60	kg
Cooling	Air
Power requirement	230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz

All specifications are typical data and subject to change without notice due to product improvements.

Measured at low rep.rates; allow 10% reduction of output energy and power for laser equipped with stabilization mode.
Typical value, FWHM



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